超阻尼气浮微振控制技术是一种应用于对承载能力有较高要求，且需要满足低频隔振性能的隔振技术。本司提出的超阻尼气浮隔振器具有变阻尼结构，适用于环境振动复杂多变的情况；与超低频隔振器相比，当负载中存在冲击作用时，该技术能实现相对较快的响应衰减。同时，通过配置精密电子定位系统，超阻尼气浮微振控制系统可实现对隔振平台的水平度精密调节。若有特殊使用要求，超阻尼气浮微振控制系统还可以按用户要求专门设计。

超阻尼气浮隔振器使用两个气室，之间通过一个小孔相通，通过控制小孔的尺寸，可以使系统在快速响应负载变化的同时提高振动的隔离性能，故气浮隔振器可以为超精密设备提供高要求的隔振性能。

超阻尼气浮隔振器的高度控制采用高精度无接触式电子定位系统。本系统选用激光位移计测量距离，消除传统的水平阀引入的高频干扰，同时采用三路单独控制进出气，极大避免传统隔振器之间气流互相干扰。因为全部使用电控，比大部分传统机械式控制更精确，且一体式小机箱携带方便，多次拆卸丝毫不影响其精度。

    本公司超阻尼气浮系列产品主要分为四个类型：

• 超薄型超阻尼气浮；

• 标准型超阻尼气浮；

• 超阻尼隔振桌；

• 超阻尼隔振支腿。