Silence Base 主动隔振系统

产品介绍

Silence Base 主动隔振系统是路博科技打造的高端主动振动隔离产品,专为光电、半导体等领域超精密仪器的严苛隔振需求设计,是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案。产品集成先进惯性振动传感器、复杂控制算法与压电作动器,通过实时监测底板振动、驱动作动器动态调节,实现振动的精准隔离,广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究 / 加工等场景,可完美匹配电子显微镜、半导体计量工具、核磁共振光谱仪等超精密设备的安装隔振标准。

产品特点

  1. 低频隔振性能优异:从 0.6Hz 开始实现振动隔离,1Hz 处隔离率达 40%-60%,2Hz 及以上频率在垂直、水平方向均能实现超 90% 的隔离效果,核心优势频段 0.6-20Hz 隔振表现行业领先。
  2. 全维度精准控振:采用六自由度主动硬支架设计,可同时约束 3 个平动、3 个旋转自由度,单支腿控制平移方向,多支腿配合实现倾斜、扭转方向控振,全方位覆盖设备振动维度。
  3. 适配高振环境,稳定性强:主动带宽覆盖 0.6Hz-150Hz,可在高振动环境中稳定工作;弹性体架构设计让系统几乎不受负载结构共振、室内气流影响,支持高重心有效载荷,高负载下稳定时间极快。
  4. 安装便捷,维护成本低:控制系统坚固可靠,采用串行连接设计,内置被动弹性体与主动隔振系统兼容,安装后几乎无需现场补偿,压电作动器精准抑振,确保设备振动持续符合行业标准。
  5. 高带宽适配性:PZT 伺服主动带宽可达 0.6~200Hz,能根据实际工况实现高效隔振,仅需安装在刚度、平整度优异的混凝土地板或焊接钢框架上,即可发挥最佳隔振性能。